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等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究

黄永宪 冷劲松 田修波 吕世雄 李垚

等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究

黄永宪, 冷劲松, 田修波, 吕世雄, 李垚
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  • 本文建立了绝缘材料等离子体浸没离子注入过程的动力学Particle-in-cell(PIC)模型, 将二次电子发射系数直接与离子注入即时能量建立关联, 研究了非导电聚合物厚度、介电常数和二次电子发射系数对表面偏压电位的影响规律以及栅网诱导效应. 研究结果表明: 非导电聚合物较厚时, 表面自偏压难以实现全方位离子注入, 栅网诱导可以间接为非导电聚合物提供偏压, 并抑制二次电子发射, 为厚大非导电聚合物表面等离子体浸没离子注入提供了有效途径.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 50904020和50974046), 哈尔滨市青年科技创新人才基金(批准号: 2009RFQXG050), 中央高校基础科研业务费专项资金(批准号: HIT. NSRIF. 2012007)和国家博士后科学基金(批准号: 20090460883和201003419)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-10-11
  • 修回日期:  2011-11-11
  • 刊出日期:  2012-08-05

等离子体浸没离子注入非导电聚合物的适应性及栅网诱导效应的研究

  • 1. 哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室, 哈尔滨 150001;
  • 2. 哈尔滨工业大学复合材料与结构研究所, 哈尔滨 150001
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 50904020和50974046), 哈尔滨市青年科技创新人才基金(批准号: 2009RFQXG050), 中央高校基础科研业务费专项资金(批准号: HIT. NSRIF. 2012007)和国家博士后科学基金(批准号: 20090460883和201003419)资助的课题.

摘要: 本文建立了绝缘材料等离子体浸没离子注入过程的动力学Particle-in-cell(PIC)模型, 将二次电子发射系数直接与离子注入即时能量建立关联, 研究了非导电聚合物厚度、介电常数和二次电子发射系数对表面偏压电位的影响规律以及栅网诱导效应. 研究结果表明: 非导电聚合物较厚时, 表面自偏压难以实现全方位离子注入, 栅网诱导可以间接为非导电聚合物提供偏压, 并抑制二次电子发射, 为厚大非导电聚合物表面等离子体浸没离子注入提供了有效途径.

English Abstract

参考文献 (31)

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