搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

GaN薄膜中的马赛克结构随厚度发生的变化

张韵 谢自力 王健 陶涛 张荣 刘斌 陈鹏 韩平 施毅 郑有炓

GaN薄膜中的马赛克结构随厚度发生的变化

张韵, 谢自力, 王健, 陶涛, 张荣, 刘斌, 陈鹏, 韩平, 施毅, 郑有炓
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  852
  • PDF下载量:  1263
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2012-09-10
  • 修回日期:  2012-10-07
  • 刊出日期:  2013-03-05

GaN薄膜中的马赛克结构随厚度发生的变化

  • 1. 南京大学电子科学与工程学院 江苏省光电信息功能材料重点实验室, 南京 210093
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展计划(批准号: 2011CB301900, 2012CB619304)、 国家高技术研究发展计划(批准号: 2011AA03A103)、 国家自然科学基金(批准号: 60990311, 60820106003, 60906025, 60936004, 61176063)和江苏省自然科学基金(批准号: BK2008019, BK2011010, BK2010385, BK2009255, BK2010178).

摘要: 利用高分辨率X射线衍射(HRXRD)对MOCVD系统中生长在c面Al2O3上的不 同厚度的GaN薄膜内马赛克结构进行了研究. 在对称面的三轴X射线衍射曲线中, 用两种方法计算得到晶粒的垂直关联长度和水平关联长度, 两者均随着薄膜厚度的增加而增加, 并且垂直关联长度近似膜厚从倒易空间图中得出的横向关联长度也有相同的趋势, 结合非对称面的衍射曲线用Williamson-Hall方法和外推法分 别拟合出晶粒的面外倾斜角和面内扭转角, 他们随着薄膜厚度的增加显著减少, 这一切都表明厚度的增加, 晶粒的单向有序排列越来越整齐, 外延片的质量越来越高.

English Abstract

参考文献 (14)

目录

    /

    返回文章
    返回