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直拉单晶硅中洁净区形成后铜沉淀行为的研究

张光超 徐进

直拉单晶硅中洁净区形成后铜沉淀行为的研究

张光超, 徐进
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  • 本文研究了直拉单晶硅中形成洁净区后过渡族金属杂质铜的沉淀行为. 样品经过高低高三步常规热处理形成洁净区后, 在不同温度下引入杂质铜, 然后对样品分别进行普通热处理和快速热处理, 通过腐蚀和光学显微镜研究发现, 在700 ℃引入铜杂质后经过普通热处理和快速热处理都不会破坏洁净区, 在900 ℃和1100 ℃引入铜杂质后经过普通热处理不会破坏洁净区, 而经过快速热处理会破坏洁净区. 研究表明, 快速热处理可以使硅片体内产生大量的空位, 空位的外扩散是破坏洁净区的主要原因.
    • 基金项目: 国家自然科学基金 (批准号: 50902116)、硅材料国家重点实验室开放基金(批准号: SKL2012-17)和福建省高等学校新世纪优秀人才支持计划资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-08-17
  • 修回日期:  2012-11-26
  • 刊出日期:  2013-04-05

直拉单晶硅中洁净区形成后铜沉淀行为的研究

  • 1. 厦门大学材料学院, 厦门 361005;
  • 2. 浙江大学硅材料国家重点实验室, 杭州 310027
    基金项目: 

    国家自然科学基金 (批准号: 50902116)、硅材料国家重点实验室开放基金(批准号: SKL2012-17)和福建省高等学校新世纪优秀人才支持计划资助的课题.

摘要: 本文研究了直拉单晶硅中形成洁净区后过渡族金属杂质铜的沉淀行为. 样品经过高低高三步常规热处理形成洁净区后, 在不同温度下引入杂质铜, 然后对样品分别进行普通热处理和快速热处理, 通过腐蚀和光学显微镜研究发现, 在700 ℃引入铜杂质后经过普通热处理和快速热处理都不会破坏洁净区, 在900 ℃和1100 ℃引入铜杂质后经过普通热处理不会破坏洁净区, 而经过快速热处理会破坏洁净区. 研究表明, 快速热处理可以使硅片体内产生大量的空位, 空位的外扩散是破坏洁净区的主要原因.

English Abstract

参考文献 (30)

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