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界面合金化控制柔性Al/PI薄膜应力的研究

蒋钊 陈学康

界面合金化控制柔性Al/PI薄膜应力的研究

蒋钊, 陈学康
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  • 针对航天器用MEMS热控百叶窗存在的柔性薄膜应力问题, 开展界面合金化控制薄膜应力技术研究. 通过给柔性Al/PI薄膜体系添加中间层Sn, 使其合金化, 使晶格产生膨胀畸变, 来引入相反的应力与已经存在的本征压应力相抗衡, 可获得低表观应力的薄膜. 用SEM和EDS剖面分析验证了Sn原子发生了明显的扩散现象, 形成了Al-Sn合金层. 这种方法可作为控制薄膜应力的一种新的技术手段.
      通信作者: 蒋钊, qqq-128@163.com
    • 基金项目: 真空技术与物理重点实验室基金(批准号: BM0501)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-01-21
  • 修回日期:  2015-07-03
  • 刊出日期:  2015-11-05

界面合金化控制柔性Al/PI薄膜应力的研究

  • 1. 兰州空间技术物理研究所, 真空技术与物理重点实验室, 兰州 730010
  • 通信作者: 蒋钊, qqq-128@163.com
    基金项目: 

    真空技术与物理重点实验室基金(批准号: BM0501)资助的课题.

摘要: 针对航天器用MEMS热控百叶窗存在的柔性薄膜应力问题, 开展界面合金化控制薄膜应力技术研究. 通过给柔性Al/PI薄膜体系添加中间层Sn, 使其合金化, 使晶格产生膨胀畸变, 来引入相反的应力与已经存在的本征压应力相抗衡, 可获得低表观应力的薄膜. 用SEM和EDS剖面分析验证了Sn原子发生了明显的扩散现象, 形成了Al-Sn合金层. 这种方法可作为控制薄膜应力的一种新的技术手段.

English Abstract

参考文献 (17)

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