搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

薄膜应力测定的X射线掠射法

徐可为 高润生 于利根 何家文

薄膜应力测定的X射线掠射法

徐可为, 高润生, 于利根, 何家文
PDF
导出引用
导出核心图
计量
  • 文章访问数:  2611
  • PDF下载量:  842
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  1993-09-02
  • 刊出日期:  1994-08-20

薄膜应力测定的X射线掠射法

  • 1. 西安交通大学金属材料强度国家重点实验室
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 薄膜应力可用x射线掠射法测量,2θ-sin2φ失去线性时,采用小角掠射,有可能使2θ-sin2φ恢复直线,并由斜率计算应力;2θ-sin2φ维持线性时,依次改变掠射角,可望对内应力沿膜厚分布做出评估。

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回