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Si微电阻桥温度分布与热传导特性的显微Raman光谱研究

蔡炜颖 李志锋 陆 卫 李守荣 梁平治

Si微电阻桥温度分布与热传导特性的显微Raman光谱研究

蔡炜颖, 李志锋, 陆 卫, 李守荣, 梁平治
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出版历程
  • 收稿日期:  2003-01-24
  • 修回日期:  2003-03-05
  • 刊出日期:  2003-11-20

Si微电阻桥温度分布与热传导特性的显微Raman光谱研究

  • 1. 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室,上海 200083
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:60244002和10234040)资助的课题.

摘要: 采用显微Raman光谱方法对红外目标模拟器中重掺杂Si微电阻桥单元的热传导特性进行研究,根据Si桥的实际特性建立相应的Raman散射模型,通过测量Raman峰位的移动得到高功率激光辐照下测量点的温度.对Si桥桥面分别进行了沿某些特殊线段的逐点线扫描和覆盖全部桥面的面扫描,得到各点的温升及其分布.用基于有限元分析的软件结合Si桥结构参数对各测量点的温升进行了模拟计算,其结果在热导分布的基本趋势上与实验相一致.实验细致地揭示了热导分布的局域起伏,反映出实际器件的不均匀性,为改进器件设计、优化器件性能提供了实验依据.

English Abstract

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