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P2+和P+注入硅固相外延过程时间分辨的反射率研究

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P2+和P+注入硅固相外延过程时间分辨的反射率研究

TIME RESOLVED REFLECTIVITY MEASUREMENTS OF SOLID PHASE EPITAXY IN P2+ AND P+ IMPLANTED SILICON

FANG ZI-WEI, LIN CHENG-LU, YANG GEN-QING, LI XIAO-QIN, ZOU SHI-CHAN, R. G. ELLIMAN
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-09-02
  • 刊出日期:  2005-06-17

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