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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

谢本超 卢振武 李凤有

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近柱面中频面形检测中曲面拟合法精度问题研究

谢本超, 卢振武, 李凤有

Investigation of the precision of curved surface fitting in the measurement of near-cylindrical surfaces’ mid-wavelength deformations

Xie Ben-Chao, Lu Zhen-Wu, Li Feng-You
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-09-20
  • 修回日期:  2004-10-25
  • 刊出日期:  2005-07-07

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