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离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究

高皓 廖龙忠 张朝晖

引用本文:
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离子注入的铝在Si(100)表面的偏析及其引起的纳米团簇和合金晶粒形成现象的实验研究

高皓, 廖龙忠, 张朝晖

Experimental investigation on formation of Al-Si clusters and nanocrystals in the segregation of ion-implanted Al on Si(100)

Gao Hao, Liao Long-Zhong, Zhang Zhao-Hui
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出版历程
  • 收稿日期:  2007-11-28
  • 修回日期:  2008-06-20
  • 刊出日期:  2009-01-20

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