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C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究

吴大维 付德君 毛先唯 叶明生 彭友贵 范湘军

引用本文:
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C3N4/TiN交替复合膜的微结构研究

吴大维, 付德君, 毛先唯, 叶明生, 彭友贵, 范湘军

STUDY OF THE MICROSTRUCTURE OF ALTERNATING C3N4 In CNx/TiN COMPOSITE FILMS PREPARED

WU DA-WEI, FU DE-JUN, MAO XIAN-WEI, YU MING-SHENG, PENG YOU-GUI, FAN XIANG-JUN
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出版历程
  • 收稿日期:  1998-06-22
  • 修回日期:  1998-11-13
  • 刊出日期:  1999-05-20

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