磷掺杂纳米硅薄膜的研制
物理学报
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物理学报  2000, Vol. 49 Issue (5): 983-988
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
磷掺杂纳米硅薄膜的研制
奚中和1, 王子欧2, 何宇亮3, 刘 明4
(1)北京大学电子工程系,北京 100871; (2)北京大学微电子中心,北京 100871; (3)南京大学固体微结构物理国家实验室,南京 210093; (4)中国科学院微电子中心,北京 100029
FABRICATION AND STUDY OF PHOSPHOR DOPED HYDROGENATED NANO-CRYSTALLINE SILICON FILM
XI ZHONG-HE1, WANG ZI-OU2, HE YU-LIANG3, LIU MING4
(1)北京大学电子工程系,北京 100871; (2)北京大学微电子中心,北京 100871; (3)南京大学固体微结构物理国家实验室,南京 210093; (4)中国科学院微电子中心,北京 100029

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