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(Si)n/(Ge)n超晶格几何结构

资剑 张开明

(Si)n/(Ge)n超晶格几何结构

资剑, 张开明
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-10-19
  • 刊出日期:  1990-05-05

(Si)n/(Ge)n超晶格几何结构

  • 1. 复旦大学物理系,上海,200433

摘要: 本文用Keating模型计算了Si1-xGex(x=0—1)作衬底、沿(100)方向生长的(Si)n/(Ge)n(n=1—6)应力超晶格的几何结构,并讨论了衬底对超晶格生长的影响,计算结果发现对于(Si)n/(Ge)n超晶格,用适当的Si1-xGex作衬底有利于超晶格的生长。

English Abstract

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