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溶胶-凝胶法制备MgO/(Ba0.8Sr0.2)TiO3多层薄膜及其介电和漏电特性研究

贾建峰 黄 凯 潘清涛 李世国 贺德衍

溶胶-凝胶法制备MgO/(Ba0.8Sr0.2)TiO3多层薄膜及其介电和漏电特性研究

贾建峰, 黄 凯, 潘清涛, 李世国, 贺德衍
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-07-29
  • 修回日期:  2005-11-03
  • 刊出日期:  2006-02-05

溶胶-凝胶法制备MgO/(Ba0.8Sr0.2)TiO3多层薄膜及其介电和漏电特性研究

  • 1. 兰州大学物理科学与技术学院,兰州 730000
    基金项目: 

    高等学校优秀青年教师教学科研奖励计划资助的课题.

摘要: 采用改进的溶胶-凝胶方法在LaNiO3/Si(100)衬底上制备了MgO/(Ba0.8Sr0.2)TiO3多层薄膜.实验结果表明,MgO层的引入改变了(Ba0.8Sr0.2)TiO3的介电特性和漏电流行为,使薄膜的漏电 流降低了3个数量级,但介电常数也有相应降低.漏电流的显著降低是由MgO子层的高阻特性 以及微量Mg向(Ba0.8

English Abstract

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