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超声处理对ZnO薄膜光致发光特性的影响

袁艳红 高 恒 侯 洵

超声处理对ZnO薄膜光致发光特性的影响

袁艳红, 高 恒, 侯 洵
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-20
  • 修回日期:  2005-07-06
  • 刊出日期:  2006-01-20

超声处理对ZnO薄膜光致发光特性的影响

  • 1. (1)西北大学光子学与光子技术研究所、光电子技术省级重点实验室,西安 710069; (2)西北大学光子学与光子技术研究所、光电子技术省级重点实验室,西安 710069;中国科学院西安光学精密机械研究所,西安 710068

摘要: 对于结晶状态好的ZnO薄膜,测量了其光致发光(PL)光谱,发射光谱中只发现了峰值波长约389 nm的近紫外光.样品进行超声处理后,发射谱中不仅观察到近紫外峰,又观察到波长约508 nm的绿光峰.绿光峰的强度比近紫外光的强度强得多,且近紫外峰红移.进一步的热处理使绿光峰大大增强.超声处理改变了ZnO薄膜的质量和结晶状态,使晶格中产生氧空位.处理过程中的热效应使得薄膜晶格振动加剧.当晶格振动加剧到一定程度,晶格中的氧脱离格点形成氧空位.510 nm左右的绿色发光峰是ZnO晶体中的氧空位产生的.薄膜的温度越高,

English Abstract

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