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碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合薄膜的制备及力敏特性研究

安萍 郭浩 陈萌 赵苗苗 杨江涛 刘俊 薛晨阳 唐军

碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合薄膜的制备及力敏特性研究

安萍, 郭浩, 陈萌, 赵苗苗, 杨江涛, 刘俊, 薛晨阳, 唐军
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  • 针对传感器的敏感单元发展需求, 提出了一种 碳纳米管复合材料. 该材料是 以碳纳米管作为填充粒子, 结合聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机基体, 采用超声共混方法制备的一种新型传感器敏感元件. 详细分析研究了复合材料的制备工艺参数, 以及在不同工艺参数下该复合材料的力敏特性. 扫描电镜测试表明碳纳米管在PDMS中分散均匀且镶嵌良好. 通过对不同体积分数的碳纳米管与PDMS复合材料进行电学性能测试, 研究薄膜的“力-电阻”和“力-电容”耦合性能, 测试了薄膜结构的力敏效应. 计算得到复合薄膜材料的压阻灵敏度因子达到40, 压电容灵敏度因子达到70. 实验研究表明, 通过改变碳纳米管与PDMS的比例, 可以很好地调节其电子输运特性以及电阻和电容的应力敏感特性, 可以为该类型的力敏材料在不同的力敏传感技术领域提供新的研究思路.
    • 基金项目: 国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号:91123016)、国家自然科学基金(批准号:61171056)、国家自然科学基金青年基金(批准号:51105345)、国家重点基础研究发展计划(批准号:2012CB723404)、国家杰出青年科学基金(批准号:51225504)和山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助的课题.
    [1]

    Lipomi D J, Vosgueritchian M, Tee B C, Hellstrom S L, Lee J A, Fox C H, Bao Z 2011 Nat. Nanotechnol. 6 788

    [2]

    Fan F R, Lin L, Zhu G, Wu W, Zhang R, Wang Z L 2012 Nano Lett. 12 3109

    [3]

    Yamada T, Hayamizu Y, Yamamoto Y, Yomogida Y, Izadi-Najafabadi A, Futaba D N, Hata K 2011 Nat. Nanotechnol. 6 296

    [4]

    Wang Y T, Liu Z D, Yi J, Xue Z Y 2012 Acta Phys. Sin. 61 057302 (in Chinese) [王永田, 刘宗德, 易军, 薛志勇 2012 物理学报 61 057302]

    [5]

    Hu G J, Cao B Y 2014 Chin. Phys. B 23 096501

    [6]

    Takei K, Yu Z, Zheng M, Ota H, Takahashi T, Javey A 2014 Proc. Natl. Acad. Sci. 20 1317920

    [7]

    Xu W J, Kranz M, Kim S H, Allen M G 2010 J. Micromech. Microeng. 20 104003

    [8]

    Li S K, Tang J, Mao H Q, Wang M H, Chen G B, Zhai C, Zhang X M, Shi Y B, Liu J 2014 Acta Phys. Sin. 63 057501 (in Chinese) [李圣昆, 唐军, 毛宏庆, 王明焕, 陈国彬, 翟超, 张晓明, 石云波, 刘俊 2014 物理学报 63 057501]

    [9]

    He L X, Tjong S C 2013 Nanoscale Res. Lett. 8 132

    [10]

    Wang L, Dang Z M 2005 Appl. Phys. Lett. 87 042903

    [11]

    Jiang M J, Dang Z M, Xu H P 2007 Appl. Phys. Lett. 90 042914

    [12]

    Huang J Q, Hong L X, Han G R, Weng W J, Du P Y 2006 Acta Phys. Sin. 55 3664 (in Chinese) [黄集权, 洪兰秀, 韩高荣, 翁文剑, 杜丕一 2006 物理学报 55 3664]

    [13]

    Herrmann J, Mller K H, Reda T, Baxter G R, Raguse B, de Groot G J J B, Wieczorek L 2007 Appl. Phys. Lett. 91 183105

    [14]

    Ibañez F J, Zamborini F P 2012 Small 8 174

    [15]

    Olichwer N, Leib E W, Halfar A H, Petrov A, Vossmeyer T 2012 ACS Appl. Mater. Inter. 4 6151

    [16]

    Zhou J, Fei P, Gu Y, Mai W, Gao Y, Yang R, Wang Z L 2008 Nano Lett. 8 3973

  • [1]

    Lipomi D J, Vosgueritchian M, Tee B C, Hellstrom S L, Lee J A, Fox C H, Bao Z 2011 Nat. Nanotechnol. 6 788

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    Fan F R, Lin L, Zhu G, Wu W, Zhang R, Wang Z L 2012 Nano Lett. 12 3109

    [3]

    Yamada T, Hayamizu Y, Yamamoto Y, Yomogida Y, Izadi-Najafabadi A, Futaba D N, Hata K 2011 Nat. Nanotechnol. 6 296

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    Wang Y T, Liu Z D, Yi J, Xue Z Y 2012 Acta Phys. Sin. 61 057302 (in Chinese) [王永田, 刘宗德, 易军, 薛志勇 2012 物理学报 61 057302]

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    Li S K, Tang J, Mao H Q, Wang M H, Chen G B, Zhai C, Zhang X M, Shi Y B, Liu J 2014 Acta Phys. Sin. 63 057501 (in Chinese) [李圣昆, 唐军, 毛宏庆, 王明焕, 陈国彬, 翟超, 张晓明, 石云波, 刘俊 2014 物理学报 63 057501]

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    [15]

    Olichwer N, Leib E W, Halfar A H, Petrov A, Vossmeyer T 2012 ACS Appl. Mater. Inter. 4 6151

    [16]

    Zhou J, Fei P, Gu Y, Mai W, Gao Y, Yang R, Wang Z L 2008 Nano Lett. 8 3973

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-06-15
  • 修回日期:  2014-08-09
  • 刊出日期:  2014-12-05

碳纳米管/聚二甲基硅氧烷复合薄膜的制备及力敏特性研究

  • 1. 中北大学, 仪器科学与动态测试教育部重点实验室, 太原 030051;
  • 2. 中北大学, 电子测试技术国家重点实验室, 太原 030051
    基金项目: 

    国家自然科学基金国家基础科学人才培养基金(批准号:91123016)、国家自然科学基金(批准号:61171056)、国家自然科学基金青年基金(批准号:51105345)、国家重点基础研究发展计划(批准号:2012CB723404)、国家杰出青年科学基金(批准号:51225504)和山西省高等学校优秀青年学术带头人支持计划资助的课题.

摘要: 针对传感器的敏感单元发展需求, 提出了一种 碳纳米管复合材料. 该材料是 以碳纳米管作为填充粒子, 结合聚二甲基硅氧烷(PDMS)有机基体, 采用超声共混方法制备的一种新型传感器敏感元件. 详细分析研究了复合材料的制备工艺参数, 以及在不同工艺参数下该复合材料的力敏特性. 扫描电镜测试表明碳纳米管在PDMS中分散均匀且镶嵌良好. 通过对不同体积分数的碳纳米管与PDMS复合材料进行电学性能测试, 研究薄膜的“力-电阻”和“力-电容”耦合性能, 测试了薄膜结构的力敏效应. 计算得到复合薄膜材料的压阻灵敏度因子达到40, 压电容灵敏度因子达到70. 实验研究表明, 通过改变碳纳米管与PDMS的比例, 可以很好地调节其电子输运特性以及电阻和电容的应力敏感特性, 可以为该类型的力敏材料在不同的力敏传感技术领域提供新的研究思路.

English Abstract

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