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非对称光束干涉制备二维微纳光子结构研究

吕浩 尤凯 兰燕燕 高冬 赵秋玲 王霞

非对称光束干涉制备二维微纳光子结构研究

吕浩, 尤凯, 兰燕燕, 高冬, 赵秋玲, 王霞
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  • 研究了基于不同偏振组合的非对称4束和5束光干涉制备二维微纳光子结构.通过改变光束的参数组合获得了枝节状、波形状等结构.在非对称光束干涉中,光束的构型和偏振改变了波矢差分布,从而改变晶格形貌和对比度.利用CHP-C感光胶开展了全息光刻实验制备,获得了与模拟一致的光子结构.该研究为制备新颖光子结构提供了有效途径,此类光子结构还可以为制备不同类型的金属点阵结构提供模板,对新型光子器件的制备和应用研究具有一定的促进作用.
      通信作者: 王霞, phwangxia@163.com
    • 基金项目: 山东省高等学校科技计划(批准号:J14LJ06)、山东省自然科学基金(批准号:ZR2014FP012)和国家自然科学基金(批准号:11274189,11504194)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-07-06
  • 修回日期:  2017-08-06
  • 刊出日期:  2017-11-05

非对称光束干涉制备二维微纳光子结构研究

  • 1. 青岛科技大学数理学院, 青岛 266061;
  • 2. 山东省新型光电材料与技术工程实验室, 青岛 266061
  • 通信作者: 王霞, phwangxia@163.com
    基金项目: 

    山东省高等学校科技计划(批准号:J14LJ06)、山东省自然科学基金(批准号:ZR2014FP012)和国家自然科学基金(批准号:11274189,11504194)资助的课题.

摘要: 研究了基于不同偏振组合的非对称4束和5束光干涉制备二维微纳光子结构.通过改变光束的参数组合获得了枝节状、波形状等结构.在非对称光束干涉中,光束的构型和偏振改变了波矢差分布,从而改变晶格形貌和对比度.利用CHP-C感光胶开展了全息光刻实验制备,获得了与模拟一致的光子结构.该研究为制备新颖光子结构提供了有效途径,此类光子结构还可以为制备不同类型的金属点阵结构提供模板,对新型光子器件的制备和应用研究具有一定的促进作用.

English Abstract

参考文献 (29)

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