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倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散

陆裕东 何小琦 恩云飞 王歆 庄志强

倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散

陆裕东, 何小琦, 恩云飞, 王歆, 庄志强
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  • 采用倒装芯片互连凸点串联回路研究了高温、高电流密度条件下倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散现象,分析了互连结构中受电应力和化学势梯度作用的各相金属原子的扩散行为.在电迁移主导作用下,Ni(V)镀层中的Ni原子的快速扩散导致原本较为稳定的Ni(V)扩散阻挡层发生快速的界面反应,造成Al互连金属与焊料的直接接触.Al原子在电子风力作用下沿电子流方向向下迁移造成窗口附近焊料中Al原子含量逐步上升,同时,空位的反向迁移、聚集形成过饱和,导致Al互连中形成大面积空洞.焊料中的Sn,Pb原子在化学势梯度
    • 基金项目: 中国博士后科学基金(批准号:20080430825)、国家预研基金(批准号:51323060305)和信息产业部电子第五研究所科技发展基金(批准号:XF0726130)资助的课题.
    [1]

    [1] Zaporozhets T V,Gusak A M,Tu K N,Mhaisalkar S G 2005 J. Appl. Phys. 98 1

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    [8] Shao W,Mhaisalkar S G,Sritharan T,Vairagar A V,Engelmann H J,Aubel O,Zschech E,Gusak A M,Tu K N 2007 Appl. Phys.Lett. 90 052106

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    ] Yang D,Wu B Y,Chan Y C,Tu K N 2007 J. Appl. Phys. 102 043502

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    ] Ouyang F Y,Chen K,Tu K N,Lai Y S 2007 Appl. Phys. Lett. 91 231919

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    ] Liang S W,Chang Y W,Shao T L,Chen C,Tu K N 2006 Appl. Phys. Lett. 89 022117

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    ] Zhang L,Ou S,Huang J,Tu K N,Gee S,Nguyen L 2006 Appl. Phys. Lett. 88 012106

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    [3] Zhang W J,Yi W B,Wu J 2006 Acta Phys. Sin. 55 5424 (in Chinese) [张文杰、易万兵、吴瑾 2006 物理学报 55 524]

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    ] Ouyang F Y,Chen K,Tu K N,Lai Y S 2007 Appl. Phys. Lett. 91 231919

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    ] Liang S W,Chang Y W,Shao T L,Chen C,Tu K N 2006 Appl. Phys. Lett. 89 022117

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    ] Lu Y D,He X Q,En Y F,Wang X,Zhuang Z Q 2009 Acta Metall. Sin. 45 178 (in Chinese) [陆裕东、何小琦、恩云飞、王歆、庄志强 2009 金属学报 45 178]

    [15]

    ] Zhang L,Ou S,Huang J,Tu K N,Gee S,Nguyen L 2006 Appl. Phys. Lett. 88 012106

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出版历程
  • 收稿日期:  2009-06-17
  • 修回日期:  2009-08-18
  • 刊出日期:  2010-05-15

倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散

  • 1. (1)工业和信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州 510610; (2)华南理工大学材料学院,特种功能材料教育部重点实验室,广州 510640; (3)华南理工大学材料学院,特种功能材料教育部重点实验室,广州 510640;工业和信息产业部电子第五研究所,电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室,广州 510610
    基金项目: 

    中国博士后科学基金(批准号:20080430825)、国家预研基金(批准号:51323060305)和信息产业部电子第五研究所科技发展基金(批准号:XF0726130)资助的课题.

摘要: 采用倒装芯片互连凸点串联回路研究了高温、高电流密度条件下倒装芯片上金属布线/凸点互连结构中原子的定向扩散现象,分析了互连结构中受电应力和化学势梯度作用的各相金属原子的扩散行为.在电迁移主导作用下,Ni(V)镀层中的Ni原子的快速扩散导致原本较为稳定的Ni(V)扩散阻挡层发生快速的界面反应,造成Al互连金属与焊料的直接接触.Al原子在电子风力作用下沿电子流方向向下迁移造成窗口附近焊料中Al原子含量逐步上升,同时,空位的反向迁移、聚集形成过饱和,导致Al互连中形成大面积空洞.焊料中的Sn,Pb原子在化学势梯度

English Abstract

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