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Ni原子倾斜轰击Pt(111)表面低能溅射现象的分子动力学模拟

颜超 段军红 何兴道

Ni原子倾斜轰击Pt(111)表面低能溅射现象的分子动力学模拟

颜超, 段军红, 何兴道
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  • 采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学模拟详细研究了以不同角度入射的低能Ni原子与Pt (111)基体表面相互作用过程中的低能溅射行为.结果表明:随着入射角度从0增加到80,溅射产额Ys和入射原子钉扎系数S的变化均可以根据入射角近似地分为以下三个区域:当 20时,Ys和S几乎保持不变,其值与垂直入射时接近,溅射原子的发射角分布和能量分布也与垂直入射时的情
    • 基金项目: 南昌航空大学人才启动基金(批准号:EA200908182)、航空科学基金(批准号:2009ZE56009)和国家自然科学基金(批准号:50962011)资助的课题.
    [1]

    Sato Y, Yanagisawa K, Oka N, Nakamura S, Shigesato Y 2009 J. Vac. Sci. Technol. A 27 1166

    [2]
    [3]

    Dolatshahi-Pirouz A, Hovgaard M B, Rechendorff K, Chevallier J, Foss M, Besenbacher F 2008 Phys. Rev. B 77 115427

    [4]

    Zhan Q F, Haesendonck C V, Vandezande S, Temst K 2009 Appl. Phys. Lett. 94 042504

    [5]
    [6]
    [7]

    Kai H, Li Y C, Guo D C, Li S, Li Z J 2009 Acta Phys. Sin. 58 4888 (in Chinese) [开 花、李运超、郭德成、李 双、李之杰 2009 物理学报 58 4888]

    [8]

    Almen O, Bruce G 1961 Nucl. Instrum. Meth. B 11 257

    [9]
    [10]
    [11]

    Sigmund P 1969 Phys. Rev. 184 383

    [12]
    [13]

    Shao Q J, Huo Y K, Chen J X, Wu S M, Pan Z Y 1991 Acta Phys.Sin. 40 659 (in Chinese) [邵其鋆、霍裕昆、陈建新、吴士明、潘正瑛 1991 物理学报 40 659]

    [14]

    Feil H, Zwol J, Zwart S T, Dieleman J 1991 Phys. Rev. B 43 13695

    [15]
    [16]
    [17]

    Yan C, L H F, Zhang C, Zhang Q Y 2006 Acta Phys. Sin. 55 1351 (in Chinese) [颜 超、吕海峰、张 超、张庆瑜 2006 物理学报 55 1351]

    [18]
    [19]

    Zhang C, Wang Y L, Yan C, Zhang Q Y 2006 Acta Phys. Sin. 55 2882 (in Chinese) [张 超、王永亮、颜 超、张庆瑜 2006 物理学报 55 2882]

    [20]
    [21]

    Zhang C, L H F, Zhang Q Y 2002 Acta Phys. Sin. 51 2329 (in Chinese) [张 超、吕海峰、张庆瑜 2002 物理学报 51 2329]

    [22]

    Acosta M, Ares O, Sosa V, Acosta C, Pea J L 1999 J. Vac. Sci. Technol. A 17 2879

    [23]
    [24]
    [25]

    Hanson D E, Stephens B C, Saravanan C, Kress J D 2001 J. Vac. Sci. Technol. A 19 820

    [26]

    Abrams C F, Graves D B 1999 J. Appl. Phys. 86 2263

    [27]
    [28]
    [29]

    Sekowski M, Burenkov A, Hernndez-Mangas J, Martinez-Limia A, Ryssel H 2008 AIP Conf. Proc. 1066 236

    [30]

    Kenmotsu T, Wada M, Hyakutake T, Muramoto T, Nishida M 2010 Rev. Sci. Intrum. 81 02B109

    [31]
    [32]
    [33]

    Daw M S, Baskes M I 1984 Phys. Rev. B 29 6443

    [34]

    Foiles S M, Baskes M I, Daw M S 1986 Phys. Rev. B 33 7983

    [35]
    [36]
    [37]

    Swope W C, Andersen H C, Berens P H, Wilson K R 1982 J. Chem. Phys. 76 637

    [38]

    Oechsner H 1973 J. Phys. 261 37

    [39]
    [40]
    [41]

    Whetten T J, Armstead A A, Grzybowski T A, Ruo A L 1984 J. Vac. Sci. Technol. A 2 477

    [42]
    [43]

    Oyarzabal E,Yu J H, Doerner R P, Tynan G R 2006 J. Appl. Phys. 100 063301

    [44]

    Oechsner H 1970 Phys. Rev. Lett. 24 583

    [45]
    [46]
    [47]

    Eckstein W, Roth J, Nagel W, Dohmen R 2004 J. Nucl. Mater. 328 55

    [48]
    [49]

    Behrisch R, Maderlechner G, Scherzer B M U, Robinson M T 1979 Appl. Phys. A 18 391

  • [1]

    Sato Y, Yanagisawa K, Oka N, Nakamura S, Shigesato Y 2009 J. Vac. Sci. Technol. A 27 1166

    [2]
    [3]

    Dolatshahi-Pirouz A, Hovgaard M B, Rechendorff K, Chevallier J, Foss M, Besenbacher F 2008 Phys. Rev. B 77 115427

    [4]

    Zhan Q F, Haesendonck C V, Vandezande S, Temst K 2009 Appl. Phys. Lett. 94 042504

    [5]
    [6]
    [7]

    Kai H, Li Y C, Guo D C, Li S, Li Z J 2009 Acta Phys. Sin. 58 4888 (in Chinese) [开 花、李运超、郭德成、李 双、李之杰 2009 物理学报 58 4888]

    [8]

    Almen O, Bruce G 1961 Nucl. Instrum. Meth. B 11 257

    [9]
    [10]
    [11]

    Sigmund P 1969 Phys. Rev. 184 383

    [12]
    [13]

    Shao Q J, Huo Y K, Chen J X, Wu S M, Pan Z Y 1991 Acta Phys.Sin. 40 659 (in Chinese) [邵其鋆、霍裕昆、陈建新、吴士明、潘正瑛 1991 物理学报 40 659]

    [14]

    Feil H, Zwol J, Zwart S T, Dieleman J 1991 Phys. Rev. B 43 13695

    [15]
    [16]
    [17]

    Yan C, L H F, Zhang C, Zhang Q Y 2006 Acta Phys. Sin. 55 1351 (in Chinese) [颜 超、吕海峰、张 超、张庆瑜 2006 物理学报 55 1351]

    [18]
    [19]

    Zhang C, Wang Y L, Yan C, Zhang Q Y 2006 Acta Phys. Sin. 55 2882 (in Chinese) [张 超、王永亮、颜 超、张庆瑜 2006 物理学报 55 2882]

    [20]
    [21]

    Zhang C, L H F, Zhang Q Y 2002 Acta Phys. Sin. 51 2329 (in Chinese) [张 超、吕海峰、张庆瑜 2002 物理学报 51 2329]

    [22]

    Acosta M, Ares O, Sosa V, Acosta C, Pea J L 1999 J. Vac. Sci. Technol. A 17 2879

    [23]
    [24]
    [25]

    Hanson D E, Stephens B C, Saravanan C, Kress J D 2001 J. Vac. Sci. Technol. A 19 820

    [26]

    Abrams C F, Graves D B 1999 J. Appl. Phys. 86 2263

    [27]
    [28]
    [29]

    Sekowski M, Burenkov A, Hernndez-Mangas J, Martinez-Limia A, Ryssel H 2008 AIP Conf. Proc. 1066 236

    [30]

    Kenmotsu T, Wada M, Hyakutake T, Muramoto T, Nishida M 2010 Rev. Sci. Intrum. 81 02B109

    [31]
    [32]
    [33]

    Daw M S, Baskes M I 1984 Phys. Rev. B 29 6443

    [34]

    Foiles S M, Baskes M I, Daw M S 1986 Phys. Rev. B 33 7983

    [35]
    [36]
    [37]

    Swope W C, Andersen H C, Berens P H, Wilson K R 1982 J. Chem. Phys. 76 637

    [38]

    Oechsner H 1973 J. Phys. 261 37

    [39]
    [40]
    [41]

    Whetten T J, Armstead A A, Grzybowski T A, Ruo A L 1984 J. Vac. Sci. Technol. A 2 477

    [42]
    [43]

    Oyarzabal E,Yu J H, Doerner R P, Tynan G R 2006 J. Appl. Phys. 100 063301

    [44]

    Oechsner H 1970 Phys. Rev. Lett. 24 583

    [45]
    [46]
    [47]

    Eckstein W, Roth J, Nagel W, Dohmen R 2004 J. Nucl. Mater. 328 55

    [48]
    [49]

    Behrisch R, Maderlechner G, Scherzer B M U, Robinson M T 1979 Appl. Phys. A 18 391

  • [1] 开花, 李运超, 郭德成, 李双, 李之杰. 斜入射离子束辅助沉积对类金刚石薄膜结构影响的分子动力学模拟. 物理学报, 2009, 58(7): 4888-4894. doi: 10.7498/aps.58.4888
    [2] 胡杨, 杨海亮, 孙剑锋, 孙江, 张鹏飞. 强流电子束入射角二维分布测量方法. 物理学报, 2015, 64(24): 245203. doi: 10.7498/aps.64.245203
    [3] 颜超, 段军红, 何兴道. 低能原子沉积在Pt(111)表面的分子动力学模拟. 物理学报, 2010, 59(12): 8807-8813. doi: 10.7498/aps.59.8807
    [4] 贺平逆, 宁建平, 秦尤敏, 赵成利, 苟富均. 低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟. 物理学报, 2011, 60(4): 045209. doi: 10.7498/aps.60.045209
    [5] 叶子燕, 张庆瑜. 低能Pt原子团簇沉积过程的分子动力学模拟. 物理学报, 2002, 51(12): 2798-2803. doi: 10.7498/aps.51.2798
    [6] 宋青, 吉利, 权伟龙, 张磊, 田苗, 李红轩, 陈建敏. 含氢碳膜的生长机制: 分子动力学模拟研究低能量CH基团的作用. 物理学报, 2012, 61(3): 030701. doi: 10.7498/aps.61.030701
    [7] 翁明, 胡天存, 曹猛, 徐伟军. 电子入射角度对聚酰亚胺二次电子发射系数的影响. 物理学报, 2015, 64(15): 157901. doi: 10.7498/aps.64.157901
    [8] 汪俊, 张宝玲, 周宇璐, 侯氢. 金属钨中氦行为的分子动力学模拟. 物理学报, 2011, 60(10): 106601. doi: 10.7498/aps.60.106601
    [9] 王启东, 彭增辉, 刘永刚, 姚丽双, 任淦, 宣丽. 基于混合液晶分子动力学模拟比较液晶分子旋转黏度大小. 物理学报, 2015, 64(12): 126102. doi: 10.7498/aps.64.126102
    [10] 李红轩, 吉利, 赵飞, 杜雯, 周惠娣, 陈建敏, 权伟龙. 类金刚石薄膜力学特性的分子动力学模拟. 物理学报, 2010, 59(8): 5687-5691. doi: 10.7498/aps.59.5687
    [11] 谢 芳, 张 林, 朱亚波, 张兆慧. 碳纳米管振荡的分子动力学模拟. 物理学报, 2008, 57(9): 5833-5837. doi: 10.7498/aps.57.5833
    [12] 李 欣, 胡元中, 王 慧. 磁盘润滑膜全氟聚醚的分子动力学模拟研究. 物理学报, 2005, 54(8): 3787-3792. doi: 10.7498/aps.54.3787
    [13] 王松有, 王昶清, 贾 瑜, 马丙现, 秦 臻, 王 飞, 武乐可, 李新建. 不同温度下Si(001)表面各种亚稳态结构的分子动力学模拟. 物理学报, 2005, 54(9): 4313-4318. doi: 10.7498/aps.54.4313
    [14] 李 瑞, 胡元中, 王 慧, 张宇军. 单壁碳纳米管在石墨基底上运动的分子动力学模拟. 物理学报, 2006, 55(10): 5455-5459. doi: 10.7498/aps.55.5455
    [15] 赵九洲, 刘 俊, 赵 毅, 胡壮麒. 压力对非晶铜形成影响的分子动力学模拟. 物理学报, 2007, 56(1): 443-445. doi: 10.7498/aps.56.443
    [16] 孟利军, 张凯旺, 钟建新. 硅纳米颗粒在碳纳米管表面生长的分子动力学模拟. 物理学报, 2007, 56(2): 1009-1013. doi: 10.7498/aps.56.1009
    [17] 张兆慧, 韩 奎, 李海鹏, 唐 刚, 吴玉喜, 王洪涛, 白 磊. Langmuir-Blodgett膜摩擦分子动力学模拟和机理研究. 物理学报, 2008, 57(5): 3160-3165. doi: 10.7498/aps.57.3160
    [18] 李融武, 刘绍军, 孙俊东, 孟丽娟. 异质原子在Cu(001)表面扩散的分子动力学模拟. 物理学报, 2009, 58(4): 2637-2643. doi: 10.7498/aps.58.2637
    [19] 芦鹏飞, 李勇, 杨向东, 刘锦超. 从常温常压到超临界乙醇的分子动力学模拟. 物理学报, 2010, 59(7): 4880-4887. doi: 10.7498/aps.59.4880
    [20] 赵珂, 刘朋伟, 韩广超. 分子动力学模拟方法在非线性光学中的应用. 物理学报, 2011, 60(12): 124216. doi: 10.7498/aps.60.124216
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-08-30
  • 修回日期:  2010-10-26
  • 刊出日期:  2011-08-15

Ni原子倾斜轰击Pt(111)表面低能溅射现象的分子动力学模拟

  • 1. 南昌航空大学测试与光电学院,无损检测技术教育部重点实验室,南昌 330063
    基金项目: 

    南昌航空大学人才启动基金(批准号:EA200908182)、航空科学基金(批准号:2009ZE56009)和国家自然科学基金(批准号:50962011)资助的课题.

摘要: 采用嵌入原子方法的原子间相互作用势,通过分子动力学模拟详细研究了以不同角度入射的低能Ni原子与Pt (111)基体表面相互作用过程中的低能溅射行为.结果表明:随着入射角度从0增加到80,溅射产额Ys和入射原子钉扎系数S的变化均可以根据入射角近似地分为以下三个区域:当 20时,Ys和S几乎保持不变,其值与垂直入射时接近,溅射原子的发射角分布和能量分布也与垂直入射时的情

English Abstract

参考文献 (49)

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