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化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象

许宇庆 丁予上 王幼文 姚鸿年

化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象

许宇庆, 丁予上, 王幼文, 姚鸿年
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出版历程
  • 收稿日期:  1991-06-01
  • 刊出日期:  1992-05-05

化学汽相沉积法生长微晶过程中的旋涡现象

  • 1. (1)浙江大学材料系,杭州310027; (2)浙江大学分析测试中心,杭州310027

摘要: 本文报道了用高分辨电子显微术(HREM)观察辉光放电汽相淀积制备的Si:H薄膜,和热化学气相合成法制备的超细SiC粉末时发现的原子密排面呈旋涡状排列的旋涡现象,描述了这种旋涡现象的结构特点,分析了旋涡结构的形成原因,及其能保留下来的条件,讨论了这种旋涡现象与微晶形核生长过程的联系。

English Abstract

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