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用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光

刘湘娜 吴晓薇 鲍希茂 何宇亮

用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光

刘湘娜, 吴晓薇, 鲍希茂, 何宇亮
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-08-11
  • 刊出日期:  1994-06-20

用等离子体增强化学汽相沉积方法制备纳米晶粒硅薄膜光致发光

  • 1. 南京大学物理系
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题.

摘要: 报道用高氢稀释硅烷为反应气源,用等高子体增强化学汽相沉积(PECVD)方法淀积的含有纳米晶粒硅薄膜,未经任何后处理过程,在室温下观察到可见光致发光。将此光发射归因于纳米硅晶粒中的光生载流子在量子尺寸效应下所产生的光子能量高于硅单晶本体能隙,还对发光具有重要影响的一些淀积参数进行了研究。

English Abstract

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