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As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响

杨新荣 周晓静 王海飞 郝美兰 谷云高 赵尚武 徐波 王占国

As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响

杨新荣, 周晓静, 王海飞, 郝美兰, 谷云高, 赵尚武, 徐波, 王占国
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  • 利用固源分子束外延设备生长出InAs/InAlAs/InP(001)纳米结构材料, 探讨了As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响. 结果表明, As压调制的InAlAs超晶格能控制InAs量子线的形成, 导致高密度均匀分布的量子点的生长. 结果有利于进一步理解量子点形貌控制机理. 分析认为, InAs纳米结构的形貌主要由InAlAs层的各向异性应变分布和In吸附原子的各向异性扩散所决定.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号: 60990315), 河北省科学技术研究与发展指导(批准号: Z2010112)、河北省科技支撑计划(批准号: 10213936, 10213938)、河北省自然科学基金(批准号: E2012109001)、邯郸市科学技术研究与发展计划(批准号: 1121120069-5, 1121103183)和河北省邯郸学院博士科研启动经费项目(批准号: 2009002, 2010005, 2010007)资助的课题.
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    Arakawa Y, Sakaki H 1998 Appl. Phys. Lett. 40 939

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    L X Q, Jin P, Chen H M, Wu Y H, Wang F F, Wang Z G 2013 Chin. Phys. Lett. 30 118102

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    Weber A, Gauthier-Lafaye O, Julien F H, Brault J, Gendry M, Desiéres Y, Benyattou T 1999 Appl. Phys. Lett. 74 413

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    Finkman E, Maimon S, Immer V, Bahir G, Schacham S E, Fossard F, Julien F H, Brault J, Gendry M 2001 Phys. Rev. B 63 045323

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    Shin B, Lin A, Lappo K, Goldman R S, Hanna M C, Francoeur S, Norman A G, Mascarenhas A 2002 Appl. Phys. Lett. 80 3292

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    Cotta M A, Hamm R A, Staley T W, Chu S N G, Harriott L R, Panish M B 1993 Phys. Rev. Lett. 70 4106

    [17]

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    Praseuth J P, Goldstein L, Henoc P, Primot J 1987 J. Appl. Phys. 61 215

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    Konkar A, Madhukar A, Chen P 1998 Appl. Phys. Lett. 72 220

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    Glas F 1987 J. Appl. Phys. 62 3201

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-07-08
  • 修回日期:  2014-10-22
  • 刊出日期:  2015-03-20

As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响

  • 1. 邯郸学院物理与电气工程系, 邯郸 056005;
  • 2. 中国科学院半导体研究所, 半导体材料重点实验室, 北京 100083;
  • 3. 中国科学院电工研究所, 北京 100080
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号: 60990315), 河北省科学技术研究与发展指导(批准号: Z2010112)、河北省科技支撑计划(批准号: 10213936, 10213938)、河北省自然科学基金(批准号: E2012109001)、邯郸市科学技术研究与发展计划(批准号: 1121120069-5, 1121103183)和河北省邯郸学院博士科研启动经费项目(批准号: 2009002, 2010005, 2010007)资助的课题.

摘要: 利用固源分子束外延设备生长出InAs/InAlAs/InP(001)纳米结构材料, 探讨了As压调制的InAlAs超晶格对InAs纳米结构形貌的影响. 结果表明, As压调制的InAlAs超晶格能控制InAs量子线的形成, 导致高密度均匀分布的量子点的生长. 结果有利于进一步理解量子点形貌控制机理. 分析认为, InAs纳米结构的形貌主要由InAlAs层的各向异性应变分布和In吸附原子的各向异性扩散所决定.

English Abstract

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