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不同织构CVD金刚石膜的Hall效应特性

苏青峰 刘长柱 王林军 夏义本

不同织构CVD金刚石膜的Hall效应特性

苏青峰, 刘长柱, 王林军, 夏义本
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  • 采用热丝化学气相沉积法在p型硅衬底上制备了不同织构的多晶金刚石膜,使用XRD表征了CVD金刚石膜的结构特征, 研究了退火后不同织构金刚石膜的电流特性, 使用Hall效应检测仪研究了金刚石膜的霍尔效应特性及随温度变化的规律, 结果表明所制备的金刚石膜是p型材料, 载流子浓度随着温度的降低而增加, 迁移率随着温度的降低而减小. 室温下[100]织构金刚石薄膜的载流子浓度和迁移率分别为4.3×104 cm-3和76.5 cm2/V·s.
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:61176072)和上海市人才发展基金(批准号:201425)资助的课题.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-11-12
  • 修回日期:  2015-01-07
  • 刊出日期:  2015-06-05

不同织构CVD金刚石膜的Hall效应特性

  • 1. 上海联孚新能源科技集团有限公司, 新能源研究院, 上海 201201;
  • 2. 上海大学, 材料科学与工程学院, 上海 200444
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:61176072)和上海市人才发展基金(批准号:201425)资助的课题.

摘要: 采用热丝化学气相沉积法在p型硅衬底上制备了不同织构的多晶金刚石膜,使用XRD表征了CVD金刚石膜的结构特征, 研究了退火后不同织构金刚石膜的电流特性, 使用Hall效应检测仪研究了金刚石膜的霍尔效应特性及随温度变化的规律, 结果表明所制备的金刚石膜是p型材料, 载流子浓度随着温度的降低而增加, 迁移率随着温度的降低而减小. 室温下[100]织构金刚石薄膜的载流子浓度和迁移率分别为4.3×104 cm-3和76.5 cm2/V·s.

English Abstract

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