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非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心

林碧霞 傅竹西 贾云波 廖桂红

非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心

林碧霞, 傅竹西, 贾云波, 廖桂红
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-04-20
  • 刊出日期:  2001-11-20

非掺杂ZnO薄膜中紫外与绿色发光中心

  • 1. (1)中国科学技术大学结构分析开放实验室,合肥230026; (2)中国科学技术大学结构分析开放实验室,合肥230026,中国科学技术大学物理系,合肥230026; (3)中国科学技术大学物理系,合肥230026
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:59872037)

    安徽省自然科学基金(批准号:98641550)资助的课题.

摘要: 用直流反应溅射方法在硅衬底上淀积了ZnO薄膜,测量它们的光致发光(PL)光谱,观察到两个发光峰,峰值能量分别为3.18(紫外峰,UV)和2.38eV(绿峰).样品用不同温度分别在氧气、氮气和空气中热处理后,测量了PL光谱中绿峰和紫外峰强度随热处理温度和气氛的变化,同时比较了用FP-LMT方法计算的ZnO中几种本征缺陷的能级位置.根据实验和能级计算的结果,推测出ZnO薄膜中的紫外峰与ZnO带边激子跃迁有关,而绿色发光主要来源于导带底到氧错位缺陷(OZn)能级的跃迁,而不是通常认为的氧空

English Abstract

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