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超薄晶体膜生长过程的计算机模拟

王培林 丁天骅 蔡珣

超薄晶体膜生长过程的计算机模拟

王培林, 丁天骅, 蔡珣
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出版历程
  • 收稿日期:  2001-05-13
  • 修回日期:  2001-07-27
  • 刊出日期:  2005-05-31

超薄晶体膜生长过程的计算机模拟

  • 1. 上海交通大学材料科学与工程学院,教育部高温材料与高温测试重点实验室,上海200030

摘要: 建立一种新模型,模拟超薄晶体膜生长过程.通过引入网格和俘获截面的概念来归一化处理错综复杂的原子间相互作用,研究了扩散、衬底温度等因素对GeSi超薄晶体膜生长形式的影响

English Abstract

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