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a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应

王树林 程如光

a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应

王树林, 程如光
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出版历程
  • 收稿日期:  1987-10-12
  • 刊出日期:  2005-07-06

a-Si:H/a-SiNx:H超晶格的掺杂效应

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所
    基金项目: 

    中国科学院科学基金

摘要: 采用带有可转动掩板的沉积系统,合成出一类新的a-Si:H/掺杂a-SiNx:H超晶格。样品中各子层厚度及a-SiNx:H子层中N/Si比固定,仅改变掺杂浓度。结果发现:此类超晶格中的费密能级可以通过a-SiNx:H层中的掺杂来控制,即a-Si:H/a-SiNx:H超晶格可以从n型转变为p型,依赖于a-SiNx:H子层中B的掺杂比。然而,a-SiNx:H子层中P的掺杂对a-Si:H/a-SiNx:H超晶格传输特性影响并不大。

English Abstract

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