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n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究

刘开锋 蔡劲 孙恒慧 任云珠 曹永明

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n型硅脉冲激光掺铟的物理过程与缺陷特性研究

刘开锋, 蔡劲, 孙恒慧, 任云珠, 曹永明

A STUDY ON THE PHYSICAL PROCESS OF INDIUM IMPLANTATION BY PULSE LASER AND THE DEFECT PROPERTIES IN n TYPE SILICON

LIU KAI-FENG, CAI JING, SUN HENG-HUI, RUN YUN-ZHU, CAO YONG-MING
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出版历程
  • 收稿日期:  1989-09-04
  • 刊出日期:  2005-06-17

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