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硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启 尤文俊 黄美浅 曾绍洪 黄钊洪

硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

李观启, 尤文俊, 黄美浅, 曾绍洪, 黄钊洪
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出版历程
  • 收稿日期:  1997-03-31
  • 刊出日期:  1998-01-20

硅衬底的SrTiO3淀积膜的湿敏特性与机理研究

  • 1. (1)华南理工大学应用物理系,广州 510641; (2)华南师范大学量子电子学研究所,广州 510630

摘要: 对无定形多孔SrTiO3膜电导率随相对湿度的变化进行了理论模型分析.该模型也适用于其他多孔半导体陶瓷材料.实验样品用氩离子束镀膜技术在SiO2/Si衬底上淀积SrTiO3膜并制成平面型电阻结构.结果表明,在室温下,当相对湿度从12%变化至53%时,电流缓慢下降;而当相对湿度从53%变化至92%时,电流又显著上升,即在高湿度条件下具有良好的湿敏特性.电流及其在高湿条件下的上升率随测试频率而增大.吸附响应时间明显长于脱附时间.

English Abstract

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