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4英寸热氧化硅衬底上磁性隧道结的微制备

王天兴 魏红祥 李飞飞 张爱国 曾中明 詹文山 韩秀峰

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4英寸热氧化硅衬底上磁性隧道结的微制备

王天兴, 魏红祥, 李飞飞, 张爱国, 曾中明, 詹文山, 韩秀峰

Microfabrication of magnetic tunnel junctions on 4-inch Si/SiO_2 substrate*

Wang Tian-Xing, Wei Hong-Xiang, Li Fei-Fei, Zhang Ai-Guo, Zeng Zh ong-Ming, Zhan Wen-Shan, Han Xiu-Feng
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出版历程
  • 收稿日期:  2004-03-09
  • 修回日期:  2004-03-26
  • 刊出日期:  2004-11-16

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