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Cu/SiO2/Si(111)体系中Cu和Si的扩散及界面反应

曹 博 包良满 李公平 何山虎

引用本文:
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Cu/SiO2/Si(111)体系中Cu和Si的扩散及界面反应

曹 博, 包良满, 李公平, 何山虎

Diffusion and interface reaction of Cu and Si in Cu/SiO2/Si (111) systems

Cao Bo, Bao Liang-Man, Li Gong-Ping, He Shan-Hu
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-06-28
  • 修回日期:  2006-07-06
  • 刊出日期:  2006-06-05

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