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离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究

付伟佳 刘志文 刘明 牟宗信 张庆瑜 关庆丰 陈康敏

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离子注入Zn的Si(001)基片热氧化制备纳米ZnO团簇及其生长行为研究

付伟佳, 刘志文, 刘明, 牟宗信, 张庆瑜, 关庆丰, 陈康敏

Growth behavior of ZnO nanoparticles formed on Zn implanted Si(001) combined with thermal oxidation

Fu Wei-Jia, Liu Zhi-Wen, Liu Ming, Mu Zong-Xin, Zhang Qing-Yu, Guan Qing-Feng, Chen Kang-Min
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出版历程
  • 收稿日期:  2008-10-24
  • 修回日期:  2008-12-24
  • 刊出日期:  2009-04-05

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