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应变Si1-xGex能带结构研究

宋建军 张鹤鸣 胡辉勇 宣荣喜 戴显英

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应变Si1-xGex能带结构研究

宋建军, 张鹤鸣, 胡辉勇, 宣荣喜, 戴显英

Band structure of strained Si1-xGex

Song Jian-Jun, Zhang He-Ming, Hu Hui-Yong, Xuan Rong-Xi, Dai Xian-Ying
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-03-13
  • 修回日期:  2009-04-03
  • 刊出日期:  2009-11-20

应变Si1-xGex能带结构研究

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件重点实验室,西安 710071
    基金项目: 国家部委项目(批准号:51308040203,9140A08060407DZ0103,6139801)资助的课题.

摘要: 采用结合形变势理论的K.P微扰法建立了(001),(101)和(111)面弛豫Si衬底上生长的应变Si1-xGex(x≤0.5)的能带结构模型,获得了其导带带边能级、价带带边能级、导带劈裂能、价带劈裂能及禁带宽度随Ge组分(x)的函数变化关系,该量化数据对器件研究设计可提供有价值的参考.

English Abstract

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