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样品温度对CF3+ 与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟

宁建平 吕晓丹 赵成利 秦尤敏 贺平逆 Bogaerts A. 苟富君

引用本文:
Citation:

样品温度对CF3+ 与Si表面相互作用影响的分子动力学模拟

宁建平, 吕晓丹, 赵成利, 秦尤敏, 贺平逆, Bogaerts A., 苟富君

Molecular dynamics simulation of temperature effects on CF+3 etching of Si surface

Qin You-Min, Zhao Cheng-Li, He Ping-Ni, Gou Fu-Jun, Ning Jian-Ping, Lü Xiao-Dan, Bogaerts A.
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-06-11
  • 修回日期:  2010-02-03
  • 刊出日期:  2010-05-05

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