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三环位相型光瞳滤波器的横向超分辨与轴向焦深扩展

王伟 周常河 余俊杰

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三环位相型光瞳滤波器的横向超分辨与轴向焦深扩展

王伟, 周常河, 余俊杰

Transverse superresolution and extended axial focal depth realized by three-zone annular phase pupil filter

Zhou Chang-He, Yu Jun-Jie, Wang Wei
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出版历程
  • 收稿日期:  2010-01-26
  • 修回日期:  2010-04-19
  • 刊出日期:  2011-01-05

三环位相型光瞳滤波器的横向超分辨与轴向焦深扩展

  • 1. (1)安徽工业大学数理学院,马鞍山 243002; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室,上海 201800
    基金项目: 安徽工业大学青年教师科研基金(批准号:QZ201017)资助的课题.

摘要: 用矢量衍射方法分析了线偏振光入射到带有三环位相型光瞳滤波器的高数值孔径物镜时,焦点的轴向和横向光强分布.数值模拟结果表明,高数值孔径物镜聚焦时需同时考虑光强的轴向和横向分布.通过加入三环位相光瞳滤波器,在实现横向超分辨的同时实现了光学系统轴向焦深扩展和轴向光强分布平坦化,并且位相调制深度变化时,会出现轴向焦移现象.对三环位相光瞳滤波器结构进行了优化,得出了优化结果.

English Abstract

参考文献 (18)

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