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测量半导体材料电阻率的四探针公式的普遍形式

陈存礼

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测量半导体材料电阻率的四探针公式的普遍形式

陈存礼

GENERAL EQUATION OF FOUR PROBES METHOD FOR RESISTIVITY MEASUREMENT OF SEMICONDUCTOR MATERIALS

CHEN CUN-LI
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出版历程
  • 收稿日期:  1984-10-29
  • 刊出日期:  2005-03-31

测量半导体材料电阻率的四探针公式的普遍形式

  • 1. 南京大学物理系

摘要: 测量电阻率的四探针法公式中,要求是点接触而且探针的排列有一定的形状。实际上,接触总有一定的大小。本文考虑到接触面积大小的影响,并让四根探针排列成任意形状,导出了测量电阻率和薄层电阻的关系式。而直线四探针、方形四探针只不过是本公式的两个特例。

English Abstract

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