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背散射方法研究金属中注入轻离子分布

瞿振元 马铁良 高乃飞 张宏涛 熊家炯

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背散射方法研究金属中注入轻离子分布

瞿振元, 马铁良, 高乃飞, 张宏涛, 熊家炯

A STUDY OF CONCENTRATION PROFILE OF LOW-MASS IONS IMPLANTED IN METALS BY R. B. S.

QU ZHEN-YUAN, MA TIA-LIANG, GAO NAI-FEI, ZHANG HONG-TAO, XIONG JIA-JIONG
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-11-28
  • 刊出日期:  1984-06-05

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