磷通过热生长二氧化硅层在硅中的扩散
物理学报
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物理学报  1964, Vol. 20 Issue (7): 662-669
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磷通过热生长二氧化硅层在硅中的扩散
陈辰嘉, 杨澄清, 黄亨吉
北京大学物理系
DIFFUSION OF PHOSPHORUS INTO SILICON THROUGH SILICON DIOXIDE FILM GROWN BY THERMAL OXIDATION
CHEN CHEN-CHIA, YOUNG CHENG-CHING, HUANG HENG-CHI
北京大学物理系

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