双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析
物理学报
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物理学报  2005, Vol. 54 Issue (1): 295-301
凝聚物质:结构、热学和力学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
双源共蒸法制备非均匀膜的模型分析
王英剑1, 范正修1, 邵建达1, 沈自才2
(1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039
Modeling analysis of inhomogeneous coatings prepared by double-source co-evaporation
Wang Ying-Jian1, Fan Zheng-Xiu1, Shao Jian-Da1, Shen Zi-Cai2
(1)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800; (2)中国科学院上海光学精密机械研究所,上海 201800;中国科学院研究生院,北京 100039

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