动态应力下超薄栅氧化层经时击穿的可靠性评价
物理学报
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物理学报  2008, Vol. 57 Issue (4): 2524-2528
凝聚物质:电子结构、电学、磁学和光学性质 当期目录| 下期目录| 过刊浏览| 高级检索     
动态应力下超薄栅氧化层经时击穿的可靠性评价
栾苏珍, 刘红侠, 贾仁需
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071
The dynamic reliability of ultra-thin gate oxide and its breakdown characteristics
Luan Su-Zhen, Liu Hong-Xia, Jia Ren-Xu
西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体材料与器件教育部重点实验室,西安 710071

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