非晶态异质结构a-Si:H/a-SiN<sub>x</sub>:H和a-Si:H,a-SiN<sub>x</sub>:H薄膜的应力研究
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物理学报  1987, Vol. 36 Issue (12): 1529-1537
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非晶态异质结构a-Si:H/a-SiNx:H和a-Si:H,a-SiNx:H薄膜的应力研究
王万录, 廖克俊
兰州大学物理系
STRESS STUDIES OF AMORPHOUS a-Si:H/a-SiNx:H HETEROJUNCTIONS AND a-Si:H, a-SiNx:H FILMS
WANG WAN-LU, LIAO KE-JUN
兰州大学物理系

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