用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻
物理学报
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物理学报  1994, Vol. 43 Issue (4): 530-539
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用改进的Van der Pauw法测定方形微区的方块电阻
孙以材, 张林在
河北工学院电子工程系,天津300130
MEASUREMENT OF SHEET RESISTANCE FOR MICROA- REAS BY USING A MODIFIED VAN DER PAUW'S METHOD
SUN YI-CAI, ZHANG LIN-ZAI
河北工学院电子工程系,天津300130

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