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金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅰ)——模型建立

肖定全 韦力凡 李子森 朱建国 钱正洪 彭文斌

金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅰ)——模型建立

肖定全, 韦力凡, 李子森, 朱建国, 钱正洪, 彭文斌
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-10-08
  • 刊出日期:  1996-02-20

金属氧化物薄膜的多离子束反应共溅射模型(Ⅰ)——模型建立

  • 1. 四川大学材料科学系,成都610064
    基金项目: 

    国家自然科学基金资助的课题

摘要: 针对作者发明的多离子束反应共溅射技术,基于气体动力学原理,在稳恒溅射情况下,建立了多离子束多靶反应共溅射的基本模型,获得了薄膜沉积速率和薄膜成分与反应共溅射工艺参数之间的关系.该模型揭示了影响薄膜成分的本质参量.基于该模型,提出了调控溅射速率及薄膜成分的途径与方法.

English Abstract

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