搜索

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

纳米β-FeSi2/a-Si多层膜室温光致发光分析

牛华蕾 李晓娜 胡冰 董闯 姜辛

纳米β-FeSi2/a-Si多层膜室温光致发光分析

牛华蕾, 李晓娜, 胡冰, 董闯, 姜辛
PDF
导出引用
  • 采用射频磁控溅射的方法,在Si(100)基片上制备了纳米β-FeSi2/Si多层结构,利用X射线衍射、透射电子显微镜、光致发光光谱等表征技术,研究了β-FeSi2/Si多层结构的结构、成分和光致发光特性.研究结果表明:利用磁控溅射法得到的Fe/Si多层膜,室温下能够检测到β-FeSi2的1.53 μm处光致发光信号;未退火时多层膜是(非晶的FeSi2+β-FeSi2颗粒)/非晶Si结构,退火后则是
    • 基金项目: 大连市科学技术基金(批准号:2005J22JH043)资助的课题.
  • 引用本文:
    Citation:
计量
  • 文章访问数:  3920
  • PDF下载量:  831
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2008-03-31
  • 修回日期:  2008-11-04
  • 刊出日期:  2009-03-05

纳米β-FeSi2/a-Si多层膜室温光致发光分析

  • 1. 大连理工大学材料科学与工程学院,三束材料改性国家重点实验室,大连 116024
    基金项目: 

    大连市科学技术基金(批准号:2005J22JH043)资助的课题.

摘要: 采用射频磁控溅射的方法,在Si(100)基片上制备了纳米β-FeSi2/Si多层结构,利用X射线衍射、透射电子显微镜、光致发光光谱等表征技术,研究了β-FeSi2/Si多层结构的结构、成分和光致发光特性.研究结果表明:利用磁控溅射法得到的Fe/Si多层膜,室温下能够检测到β-FeSi2的1.53 μm处光致发光信号;未退火时多层膜是(非晶的FeSi2+β-FeSi2颗粒)/非晶Si结构,退火后则是

English Abstract

目录

    /

    返回文章
    返回