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利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分

延凤平 简水生 尾形健一 小池一步 佐佐诚彦 井上正崇 矢野满明

利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分

延凤平, 简水生, 尾形健一, 小池一步, 佐佐诚彦, 井上正崇, 矢野满明
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出版历程
  • 收稿日期:  2005-10-13
  • 修回日期:  2006-01-12
  • 刊出日期:  2006-03-05

利用ICP法测定ZnMgO薄膜的Mg组分

  • 1. (1)Bio Venture Center,Osaka Institute of Technology,Osaka,Japan; (2)New Material Research Center, Osaka Institute of Technology Osaka,Japan; (3)New Material Research Center, Osaka Institute of Technology Osaka,Japan;Bio Venture Center,Osaka Institute of Technology,Osaka,Japan; (4)北京交通大学光波技术研究所,北京 100044; (5)北京交通大学光波技术研究所,北京 100044;New Material Research Center, Osaka Institute of Technology Osaka,Japan

摘要: 利用电感耦合等离子体(ICP)装置对分子束外延(MBE)法在Sapphire衬底上生长的Zn1-xMgxO薄膜的Mg组分进行了测试. 经理论分析,得到使用1次和2次检量式所确定的Zn1-xMgxO薄膜中的Mg组分的差异. 将采用1次检量式的ICP测定与EPMA测定结果进行对照,表明当Mg组分x≤0.5时二者的测试结果相当一致,由此证明ICP测试结果的正确性.

English Abstract

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