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大气压下绝缘毛细管内等离子体放电及其特性研究

黄文同 李寿哲 王德真 马腾才

大气压下绝缘毛细管内等离子体放电及其特性研究

黄文同, 李寿哲, 王德真, 马腾才
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  • 在石英毛细管内利用两个边缘锋利的中空针型电极间的放电形成了63 cm长的大气压弧光等离子体.通过记录放电图片和测量电流-电压特征波形及伏安特性曲线的方法对管内等离子体从反常辉光状态过渡至超长弧光状态的过程做了细致的研究,发现管内等离子体在弧光状态下的电子密度不低于1014 cm-3.另外,还进一步考察了两电极的间距和电源工作频率对放电伏安特性的影响以及通过发射光谱法测得的等离子体气体温度随外加电压的变化规律.当活性气体(氧气)按一定比例混合到氩等离子体中时,通过
    • 基金项目: 国家自然科学基金(批准号:50777004,10775026)和教育部留学回国人员科研启动基金(批准号:20071108)资助的课题.
    [1]

    [1]Ni T L, Ding F, Zhu X D, Wen X H, Zhou H Y 2008 Appl. Phys. Lett. 92 241503

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    [2]Laroussi M, Hynes W, Akan T, Lu X P, Tendero C 2008 IEEE Trans. Plasma Sci. 36 1298

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    ]Chen G L, Chen S H, Chen W X, Yang S Z 2008 Chin. Phys. B 18 4568

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    ]Yoshiki H, Saito T 2008 J. Vac. Sci. Technol. A 26 338

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    ]Kiriu S, Miyazoe H, Takamine F, Sai M, Choi J H, Tomai T, Terashima K 2009 Appl. Phys. Lett. 94 191502

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    ]Hong Y C, Cho S C, Uhm H S 2007 Appl. Phys. Lett. 90 141501

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    ]Moon S Y, Choe W 2003 Spectroch. Acta B 58 249

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    ]Walkup R E, Saenger K L, Selwyn G S 1986 J. Chem. Phys. 84 2668

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    ]Lieberman M A, Lichtenberg A J 2007 Principles of Plasma Discharges and Materials Processing(Beijing: Science Press) p208 (in Chinese) [力伯曼M A、里登伯格A J 2007 等离子体放电原理与材料处理(中译本)(北京:科学出版社)第208页]

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  • [1] 周瑜, 操礼阳, 马晓萍, 邓丽丽, 辛煜. 脉冲射频容性耦合氩等离子体的发射探针诊断. 物理学报, 2020, (): . doi: 10.7498/aps.69.20191864
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-06-29
  • 修回日期:  2010-01-07
  • 刊出日期:  2010-06-15

大气压下绝缘毛细管内等离子体放电及其特性研究

  • 1. 大连理工大学物理与光电工程学院,大连 116024
    基金项目: 

    国家自然科学基金(批准号:50777004,10775026)和教育部留学回国人员科研启动基金(批准号:20071108)资助的课题.

摘要: 在石英毛细管内利用两个边缘锋利的中空针型电极间的放电形成了63 cm长的大气压弧光等离子体.通过记录放电图片和测量电流-电压特征波形及伏安特性曲线的方法对管内等离子体从反常辉光状态过渡至超长弧光状态的过程做了细致的研究,发现管内等离子体在弧光状态下的电子密度不低于1014 cm-3.另外,还进一步考察了两电极的间距和电源工作频率对放电伏安特性的影响以及通过发射光谱法测得的等离子体气体温度随外加电压的变化规律.当活性气体(氧气)按一定比例混合到氩等离子体中时,通过

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参考文献 (22)

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