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Be原子在Be基底上的沉积过程研究

黄晓玉 程新路 徐嘉靖 吴卫东

Be原子在Be基底上的沉积过程研究

黄晓玉, 程新路, 徐嘉靖, 吴卫东
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出版历程
  • 收稿日期:  2011-08-29
  • 修回日期:  2012-05-10
  • 刊出日期:  2012-05-05

Be原子在Be基底上的沉积过程研究

  • 1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621900;
  • 2. 湖北第二师范学院物理与电子信息学院, 武汉 430205;
  • 3. 四川大学原子与分子物理研究所, 成都 610065
  • 通信作者: , wuweidong@163.com

摘要: 利用分子动力学方法模拟了Be原子在Be基底上的沉积过程. 模拟了沉积粒子不同入射动能条件下, 沉积薄膜表面形态的差异. 在一定能量范围内, 增加粒子入射动能可以减小薄膜的表面粗糙度. 但是, 过高的入射动能, 不利于减小薄膜表面粗糙度. 通过沉积薄膜中原子配位数以及单个原子势能沿薄膜厚度的分布, 分析沉积原子入射动能对于薄膜及表面结构的影响. 沉积动能较大时, 薄膜的密度较大; 单个原子势能沿薄膜厚度分布较为连续; 同时薄膜中原子应力沿薄膜厚度分布较为连续. 最后, 分析了沉积粒子能量转化的过程、粒子初始动能对基底表面附近粒子局部动能增加的影响.

English Abstract

参考文献 (24)

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