搜索

文章查询

x

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

Be原子在Be基底上的沉积过程研究

黄晓玉 程新路 徐嘉靖 吴卫东

Be原子在Be基底上的沉积过程研究

黄晓玉, 程新路, 徐嘉靖, 吴卫东
PDF
导出引用
导出核心图
  • 利用分子动力学方法模拟了Be原子在Be基底上的沉积过程. 模拟了沉积粒子不同入射动能条件下, 沉积薄膜表面形态的差异. 在一定能量范围内, 增加粒子入射动能可以减小薄膜的表面粗糙度. 但是, 过高的入射动能, 不利于减小薄膜表面粗糙度. 通过沉积薄膜中原子配位数以及单个原子势能沿薄膜厚度的分布, 分析沉积原子入射动能对于薄膜及表面结构的影响. 沉积动能较大时, 薄膜的密度较大; 单个原子势能沿薄膜厚度分布较为连续; 同时薄膜中原子应力沿薄膜厚度分布较为连续. 最后, 分析了沉积粒子能量转化的过程、粒子初始动能对基底表面附近粒子局部动能增加的影响.
      通信作者: , wuweidong@163.com
    [1]

    Zhang Q Y, Ma T C, Pan Z Y, Tang J Y 2000 Acta Phys. Sin. 49 1124 (in Chinese) [张庆瑜, 马腾才, 潘正英, 汤家镛 2000 物理学报 49 1124]

    [2]

    Schneider M, Rahman A, Schuller I K 1985 Phys. ReV. Lett. 55 604

    [3]

    Liang Dong, Smith R W 1996 J. Appl. Phys. 80 5682

    [4]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H 2007 Computational Materials Science 41 70

    [5]

    Zhang L, Feng J Y 2005 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 234 487

    [6]

    Lee S, Chuang Y C 2007 Jpn. J. Appl. Phys. 46 6309

    [7]

    Chung C Y, Chung Y C 2006 Materials Letters 60 1063

    [8]

    Kim S P, Chung Y C 2003 J. Appl. Phys. 93 8564

    [9]

    Lee S G, Chung Y C 2007 Applied Surface Science 253 8896

    [10]

    Albert M, Thoma D J 2004 J. Appl. Phys. 95 2436

    [11]

    Ganchenkoval M G, Borodin V A 2007 Physical Review B 75 054108

    [12]

    Meyerhoff R W, Smith J F 1962 J. Appl. Phys. 33 219

    [13]

    Nadal M H, Bourgeois L 2010 J. Appl. Phys. 108 033512

    [14]

    Benedict L X, Ogitsu T 2009 Physical ReView B 79 064106

    [15]

    Olijnyk H, Jephcoat A P 2000 J. Phys.: Condens. Matter 12 8913

    [16]

    Hite D A, Tang S J, 2003 Chemical Physics Letters 367 129

    [17]

    Baskes M I, Johnson R A, 1994 Modelling Simul. Mater Sci. Eng 2 147

    [18]

    Daw M S, Baskes M I, 1984 Phys ReV. B 29 6443

    [19]

    Daw M S, Foiles S M, Baskes M I, 1993 Mater. Sci. Rep. 9 251

    [20]

    Lee S G, Chung Y C, 2006 J. Appl. Phys. 100 074905

    [21]

    Wen Y H, Zhu Y Z, 2003 Advances in Mechanics 33 65( in Chinese) [文玉华, 朱玉曾 2003 力学进展 33 65]

    [22]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H, 2010 Computational Materials Science 48 520

    [23]

    Liang H Y 2001 Ph. D. Dissertation (Hefei: China University of Sci and Tech) (in Chinese) [梁海弋 2001 博士学位论文 (合肥: 中国科学技术大学)]

    [24]

    Kim B H, Chung Y C 2009 J. Appl. Phys. 106 044304

  • [1]

    Zhang Q Y, Ma T C, Pan Z Y, Tang J Y 2000 Acta Phys. Sin. 49 1124 (in Chinese) [张庆瑜, 马腾才, 潘正英, 汤家镛 2000 物理学报 49 1124]

    [2]

    Schneider M, Rahman A, Schuller I K 1985 Phys. ReV. Lett. 55 604

    [3]

    Liang Dong, Smith R W 1996 J. Appl. Phys. 80 5682

    [4]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H 2007 Computational Materials Science 41 70

    [5]

    Zhang L, Feng J Y 2005 Nuclear Instruments and Methods in Physics Research B 234 487

    [6]

    Lee S, Chuang Y C 2007 Jpn. J. Appl. Phys. 46 6309

    [7]

    Chung C Y, Chung Y C 2006 Materials Letters 60 1063

    [8]

    Kim S P, Chung Y C 2003 J. Appl. Phys. 93 8564

    [9]

    Lee S G, Chung Y C 2007 Applied Surface Science 253 8896

    [10]

    Albert M, Thoma D J 2004 J. Appl. Phys. 95 2436

    [11]

    Ganchenkoval M G, Borodin V A 2007 Physical Review B 75 054108

    [12]

    Meyerhoff R W, Smith J F 1962 J. Appl. Phys. 33 219

    [13]

    Nadal M H, Bourgeois L 2010 J. Appl. Phys. 108 033512

    [14]

    Benedict L X, Ogitsu T 2009 Physical ReView B 79 064106

    [15]

    Olijnyk H, Jephcoat A P 2000 J. Phys.: Condens. Matter 12 8913

    [16]

    Hite D A, Tang S J, 2003 Chemical Physics Letters 367 129

    [17]

    Baskes M I, Johnson R A, 1994 Modelling Simul. Mater Sci. Eng 2 147

    [18]

    Daw M S, Baskes M I, 1984 Phys ReV. B 29 6443

    [19]

    Daw M S, Foiles S M, Baskes M I, 1993 Mater. Sci. Rep. 9 251

    [20]

    Lee S G, Chung Y C, 2006 J. Appl. Phys. 100 074905

    [21]

    Wen Y H, Zhu Y Z, 2003 Advances in Mechanics 33 65( in Chinese) [文玉华, 朱玉曾 2003 力学进展 33 65]

    [22]

    Hong Z H, Hwang S F, Fang T H, 2010 Computational Materials Science 48 520

    [23]

    Liang H Y 2001 Ph. D. Dissertation (Hefei: China University of Sci and Tech) (in Chinese) [梁海弋 2001 博士学位论文 (合肥: 中国科学技术大学)]

    [24]

    Kim B H, Chung Y C 2009 J. Appl. Phys. 106 044304

  • [1] 柯川, 赵成利, 苟富均, 赵勇. 分子动力学模拟H原子与Si的表面相互作用. 物理学报, 2013, 62(16): 165203. doi: 10.7498/aps.62.165203
    [2] 贺平逆, 宁建平, 秦尤敏, 赵成利, 苟富均. 低能Cl原子刻蚀Si(100)表面的分子动力学模拟. 物理学报, 2011, 60(4): 045209. doi: 10.7498/aps.60.045209
    [3] 吕晓丹, 赵成利, 宁建平, 秦尤敏, 贺平逆, 苟富均. F原子与SiC(100)表面相互作用的分子动力学模拟. 物理学报, 2011, 60(9): 095203. doi: 10.7498/aps.60.095203
    [4] 张超, 吕海峰, 张庆瑜. 低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用的分子动力学模拟. 物理学报, 2002, 51(10): 2329-2334. doi: 10.7498/aps.51.2329
    [5] 谢国锋, 王德武, 应纯同. 分子动力学模拟Gd原子在Cu(110)表面的扩散过程. 物理学报, 2003, 52(9): 2254-2258. doi: 10.7498/aps.52.2254
    [6] 王宇翔, 陈硕. 微粗糙结构表面液滴浸润特性的多体耗散粒子动力学研究. 物理学报, 2015, 64(5): 054701. doi: 10.7498/aps.64.054701
    [7] 张冉, 常青, 李桦. 气体-表面相互作用的分子动力学模拟研究. 物理学报, 2018, 67(22): 223401. doi: 10.7498/aps.67.20181608
    [8] 张 超, 王永亮, 颜 超, 张庆瑜. 替位杂质对低能Pt原子与Pt(111)表面相互作用影响的分子动力学模拟. 物理学报, 2006, 55(6): 2882-2891. doi: 10.7498/aps.55.2882
    [9] 常旭. 多层石墨烯的表面起伏的分子动力学模拟. 物理学报, 2014, 63(8): 086102. doi: 10.7498/aps.63.086102
    [10] 曹洪, 黄勇, 陈素芬, 张占文, 韦建军. 脉冲敲击技术对PI微球表面粗糙度的影响. 物理学报, 2013, 62(19): 196801. doi: 10.7498/aps.62.196801
  • 引用本文:
    Citation:
计量
  • 文章访问数:  2088
  • PDF下载量:  677
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2011-08-29
  • 修回日期:  2012-05-10
  • 刊出日期:  2012-05-05

Be原子在Be基底上的沉积过程研究

  • 1. 中国工程物理研究院激光聚变研究中心, 绵阳 621900;
  • 2. 湖北第二师范学院物理与电子信息学院, 武汉 430205;
  • 3. 四川大学原子与分子物理研究所, 成都 610065
  • 通信作者: , wuweidong@163.com

摘要: 利用分子动力学方法模拟了Be原子在Be基底上的沉积过程. 模拟了沉积粒子不同入射动能条件下, 沉积薄膜表面形态的差异. 在一定能量范围内, 增加粒子入射动能可以减小薄膜的表面粗糙度. 但是, 过高的入射动能, 不利于减小薄膜表面粗糙度. 通过沉积薄膜中原子配位数以及单个原子势能沿薄膜厚度的分布, 分析沉积原子入射动能对于薄膜及表面结构的影响. 沉积动能较大时, 薄膜的密度较大; 单个原子势能沿薄膜厚度分布较为连续; 同时薄膜中原子应力沿薄膜厚度分布较为连续. 最后, 分析了沉积粒子能量转化的过程、粒子初始动能对基底表面附近粒子局部动能增加的影响.

English Abstract

参考文献 (24)

目录

    /

    返回文章
    返回