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电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构

宁兆元 程珊华 叶超

电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构

宁兆元, 程珊华, 叶超
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出版历程
  • 收稿日期:  2000-08-22
  • 修回日期:  2000-10-10
  • 刊出日期:  2001-03-20

电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积a-CFx薄膜的化学键结构

  • 1. 苏州大学物理系,苏州215006
    基金项目: 

    江苏省自然科学基金(批准号:L3108703)资助的课题.

摘要: 使用CHF3和C6H6混合气体做气源,在一个电子回旋共振等离子体增强化学气相沉积装置中制备了氟化非晶碳(a-CFx)薄膜.利用发射光谱研究了等离子体中形成的各种碳氟、碳氢基团随放电宏观参量的变化规律,对薄膜做了傅里叶变换红外光谱和X射线光电子能谱分析,证实等离子体中的CF2,CF和CH基团是控制薄膜生长、碳/氟成分比和化学键结构的主要前驱物

English Abstract

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