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硅衬底上Zn1-xMgxO薄膜的结构与光学性质

邹 璐 汪 雷 黄靖云 赵炳辉 叶志镇

硅衬底上Zn1-xMgxO薄膜的结构与光学性质

邹 璐, 汪 雷, 黄靖云, 赵炳辉, 叶志镇
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出版历程
  • 收稿日期:  2002-05-23
  • 修回日期:  2002-09-29
  • 刊出日期:  2005-04-03

硅衬底上Zn1-xMgxO薄膜的结构与光学性质

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州 310027
    基金项目: 

    国家重点基础研究发展规划项目(批准号:G2000068306)资助的课题

摘要: 采用脉冲激光法(PLD)在Si衬底上沉积Zn1-xMgxO薄膜.x射线衍射(XRD)表明薄膜为c轴取向,(002)峰的半高宽仅为0.211°,且没有MgO的相偏析.透射电子显微镜可以清楚看到Zn1-xMgxO薄膜的c轴择优取向.在选区电子衍射图中可以看到Zn1-xMgxO结晶薄膜整齐的衍射斑点.室温下对Zn1-xMgxO薄膜进行了光致荧光光谱分析,发现其带边发射峰相对ZnO晶体有0.4eV的蓝移,带边发射峰与杂质发射峰的强度之比高达159.Zn1-xMgxO结晶薄膜质量良好,显示了应用于光电器件的潜力.

English Abstract

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