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氮化铌表面氧化物的XPS研究

王偕文 吴思诚

氮化铌表面氧化物的XPS研究

王偕文, 吴思诚
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出版历程
  • 收稿日期:  1983-12-13
  • 刊出日期:  2005-05-10

氮化铌表面氧化物的XPS研究

  • 1. 北京大学物理系

摘要: 本文用X射线光电子能谱(XPS)对室温下自然氧化和射频氧化的氮化铌薄膜表面进行了成分分析。指出:与在类似条件下纯铌膜的氧化不同,NbN膜的表面氧化物中不存在NbO和NbO2,而是以Nb2O3作为从NbN到Nb2O5-y的过渡相。氮化铌在氧化过程中表现出一种抑制Nb2O,NbO等低价传导性氧化物生成的能力,这对于用氧化物作势垒的超导隧道结的研制具有实际参考价值。

English Abstract

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