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激光对电荷耦合器件硬破坏机理研究

倪晓武 陆建 贺安之

激光对电荷耦合器件硬破坏机理研究

倪晓武, 陆建, 贺安之
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出版历程
  • 收稿日期:  1993-09-08
  • 刊出日期:  1994-11-20

激光对电荷耦合器件硬破坏机理研究

  • 1. 南京理工大学应用物理系

摘要: 就激光对组成MOS结构电荷耦合器件材料和整个器件的产生硬破坏的过程进行了理论和实验研究。提出激光的热作用和等离子体冲击波的机械作用是导致电荷耦合器件结构被破坏的主要原因。得到了YAG激光致使组成电荷耦合器件的半导体材料的光学击穿阈值、视见损伤阈值、热熔融阈值和致使整个器件失效的激光功率阈值等有关结果。

English Abstract

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