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研究半导体超晶格界面粗糙的X射线双晶Pendellosung方法

潘士宏 庄岩 王玉田

研究半导体超晶格界面粗糙的X射线双晶Pendellosung方法

潘士宏, 庄岩, 王玉田
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出版历程
  • 收稿日期:  1994-05-25
  • 刊出日期:  1995-07-20

研究半导体超晶格界面粗糙的X射线双晶Pendellosung方法

  • 1. (1)南开大学物理系,天津300071; (2)中国科学院半导体研究所国家光电子工艺中心,北京100083

摘要: 运用高精度X射线双晶衍射议对GeSi/Si应变超晶格进行了分析研究,实验上观测到在卫星峰之间存在着干涉条纹(Pendellosung),建立了界面的随机概率模型.结合计算机模拟发现:Pendellosung条纹对界面的粗糙十分敏感,当界面粗糙度较小时,只影响Penderllosung条纹的规则排列,而当粗糙度较大时,不仅使Pendellosung条纹强度下降,规则排列受到破坏,并且还将导致高级卫星峰强度下降,峰形严重宽化.

English Abstract

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